鉻濺射靶材制備工藝!
2024-07-05 13:09:19
將粒度為60目-320目和粒度為320目- 500目的金屬鉻粉混合均勻,烘干備用,粒度為60目- 320目的金屬鉻粉與粒度為320目- 500目的金屬鉻粉的質(zhì)量比為5:3, 9:2;
將混合的金屬鉻粉加入到冷壓模具內(nèi),用700Mpa - 100Mpa壓力冷壓成型,保壓1s - 120s,壓制為所需尺寸實(shí)心圓柱體的鉻靶材坯料;
用包覆紙將鉻靶材坯料表面包覆,裝入熱壓模具內(nèi),入爐;
抽真空至O-15pa,升溫到300°C-400°C,保溫10min-30min,繼續(xù)升溫到600°C-800°C,停止加熱,啟動(dòng)熱壓設(shè)施,對(duì)正熱壓設(shè)施的上下壓頭,對(duì)鉻靶材坯料8Mpa-12Mpa壓力下預(yù)熱壓60s-90s ;關(guān)閉熱壓設(shè)施,繼續(xù)升溫到1300°C-1600°C,保溫30min - 120min; 再啟動(dòng)熱壓設(shè)施,用20Mpa-10Mpa壓力熱壓成型,保壓1min-10min,降溫到100°C后出爐,得到鉻靶材。
該制備方法工藝簡(jiǎn)單,操作方便,對(duì)環(huán)境友好,產(chǎn)品成品率高,實(shí)現(xiàn)了工業(yè)化生產(chǎn)。